新日鉄、国内初開発 ６インチ炭化ケイ素単結晶ウエハー

　新日本製鉄は6日、技術開発本部先端技術研究所が、6インチ口径の炭化ケイ素（ＳｉＣ）単結晶ウエハーを、国内で初めて開発に成功したと発表した。

　世界では米国・クリー社に続いて2番目。新日鉄は、6インチＳｉＣウエハーの量産化製造技術確立に向けた品質安定化、生産性向上技術開発、6インチＳｉＣエピタキシャル膜製造技術開発を進め、新日鉄マテリアルズが製造・販売することで、市場供給を目指していく。