住友金属鉱山と東北大、窒化アルミ単結晶作製で新技術

　住友金属鉱山は14日、東北大学多元物質科学研究所の福山博之教授の研究グループと共同で、新しい窒化アルミニウム（ＡＩＮ）単結晶の作製技術を開発したと発表した。新規開発のガリウム―アルミ合金を溶かした溶媒を使い、ＡＩＮ単結晶膜を窒化サファイア基板に成長させた。この技術を応用すれば、高輝度の深紫外発光ダイオード（ＬＥＤ）を開発できる。

　開発したのは表面を処理したサファイア基板にナノ単位の窒化膜をつけ、そこにＡＩＮ単結晶膜を成長させる技術。液化させたガリウム―アルミ合金に窒素を入れながら回転させＡＩＮ単結晶膜を基板上に成長させる。常圧と低温で高品質の結晶を高速成長させることができる。従来は高温、高圧が必要だった。

　今回技術開発したＡＩＮ膜の上にさらにアルミ―ガリウム―窒素膜を形成することで、高輝度の深紫外ＬＥＤを開発できる。紫外ＬＥＤは白色ＬＥＤを使った次世代照明や、浄化や抗菌などの光触媒励起光源、光ディスク用レーザー、精密レーザー加工など幅広い産業分野での応用が見込まれている。